Non-SECS Converter
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상위 시스템(EAP)과 통신 제약이 있는 장비를 대상으로 반도체 표준 프로토콜인 SEMI Standard를 적용/지원하여 상위 시스템과의 통신하는 솔루션입니다. 메인 장비의 SECS I 데이터를 받아서 HSMS로 통신 프로토콜 변환 및 장비에 설치되어 있는
RF Controller 와의 자체 통신 프로토콜 통신을 통해 수집된 데이터를 EAP로 전송 해주는 역할
을 지원합니다.
제품 특성
• SECS I, HSMS 완벽 지원
• 최대 8개의 통신 Channel 지원
• 장비 제조사 별 통신 스펙에 맞는 프로토콜 지원 가능
• 상위 시스템(smartEAP) 에서 Data 로 활용
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